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场发射环境扫描电子显微镜(Quanta 200FEG)
发布人:系统管理员  发布时间:2012-06-27   浏览次数:8765

 

设备名称:场发射环境扫描电子显微镜
型号:Quanta 200FEG
生产厂家:美国FEI公司
投入使用日期:2009.07
安放地点:科学园B1栋1楼洁净间
设备价值:2612026.5元
操作人员:张宝友 高级工程师,于杰工程师
联系电话:0451-86417617
主要性能指标:
加速电压:200V~30kV;
二次电子像分辨率:
   高真空模式  1.2nm(30kV),3.0nm(1kV)
    低真空模式  1.5nm(30kV),3.0nm(1kV)
    环境真空模式(ESEM)  1.5nm(30kV)
背散射电子像分辨率:2.5nm(30kV)
放大倍率:12x~ >1,000,000x
主要配置及附件:
主要配置:肖特基场发射电子枪;50x50mm, 4轴马达台;ETD、LF-GSED、GSED三个二次电子检测器;背散射电子检测器;CCD相机;19” LCD显示器
    附件:EDS与EBSD一体化分析系统
特色及用途:该设备采用肖特基场发射电子枪,具有束流密度高和束流稳定的特点,与普通扫描
         电镜相比,场发射扫描电镜具有更高的分辨率和放大倍数,特别是在较低的加速电
         压下仍然具有很高的分辨率,可获得质量优异的图像,可避免高能电子束辐照而引
         起的材料和器件的损伤。该环境扫描电镜有高真空(<6×10-4Pa)、低真空(10~130Pa)
                  和环境真空(10~4000Pa)等3种工作模式,因此,该仪器除了可用于常规扫描电镜分析
         的导电样品分析外,还适用于其它任何样品(非导电、表面含水、污染的品...)
         的观察和分析。其附件为EDS与EBSD一体化分析系统,能谱仪采用SDD硅漂移超薄
         窗口探测器,在60,000CPS计数率下能量分辨率为128eV,可用于微区成分(元素
         B~U)的定性和定量分析;EBSD采用高分辨率、高灵敏度CCD相机,花样指标化速
         度≥150点(花样)/秒,可分析研究材料的晶体取向和微观织构等。
应用领域:广泛应用于材料科学、纳米技术、生物医学、物理、化学、地质、机械加工、微
                 电路质量检验、失效分析等领域。 
收费标准:SEM、EDS、EBSD  200元小时
       备注:该价格是校内价格,校外加倍